1. Calibration
   1. Tip area calibration
   2. Sensitivity calibration
      1. Repeatability
         1. Intrinsic
            1. Sapphire-related
            2. PSPD-related
            3. Z-scanner-related
            4. Cantilever-related
            5. Mirror surface state
            6. Fixation method
            7. velocity-dependency
            8. set-point, force limit 설정 방법 파악필요(20081201)
            9. Setpoint = 1000*K(N/m)/S(V/um)*2.5V(A-B)
            10. Force limit = 1000*K(N/m)/S(V/um)*6V(A-B)
            11. P-d 시험 속도 영향은 없는 것으로 보임(20081201)
            12. Self-vibration
            13. Hold-time dependency
            14. hold-time 영향은 없는 것으로 보임(20081201)
         2. Extrinsic
            1. Temperature
            2. Humidity
            3. Vibration
      2. Accuracy check
   3. Stiffness calibration
      1. Repeatability check
         1. Reference-cantilever-related
            1. Self-vibration
            2. Fixation method
            3. Velocity dependency using a commercial cantilever
            4. 시험속도의 영향은 거의 무시할 만한 것으로 보임(20081205)
            5. 혹시 가능하다면, drift 시험을 할 필요는 있음.
            6. Positional variation
            7. F-d for different locations using a commercial cantilever
            8. Ref. Cantilever 상의 측정 위치에 따른 변화 관찰됨(20081205)
            9. Ref. cant.의 직사각형 측정 영역의 장축 방향의 반복성이 나쁨(20081205)
            10. Ref. cant.의 직사각형 측정 영역에서 단축 방향은 반복성이 있음(20081205)
            11. Ref. cant.의 중심부(3 um x 3 um)를 측정함으로써 반복성 확보 가능(20081212)
            12. Ref. cant.를 수직방향으로 이송하며 측정할 필요 있음(수직방향 stage 장착)
         2. Berkovich cantilever
            1. 표면 오염 문제
            2. 폴리머 샘플을 반복적으로 압입하여 세정
            3. 플라즈마 클리너를 이용하여 세정
            4. 아세톤을 이용
            5. Self-vibration
            6. Fixation
            7. Positional variation
         3. PSPD-related
         4. Z-scanner-related
      2. Accuracy check
         1. Thermal vibration method
         2. Direct-measurement method
         3. Resonance method
2. Oliver & Pharr method
3. Cantilever fabrication
   1. Symmetric probe
   2. Variable stiffness probe
4. AFM machine
   1. XE-100 machine
      1. Z-scanner 보정: 다양한 단차를 지닌 표준 격자 이용
   2. JPK machine
      1. Surface approach가 잘 안됨
      2. Sensitivity calibration이 안됨
      3. Stiffness calibration이 안됨